耗材与精密配件

耗材与精密配件

高纯溅射靶材、基片、蒸发材料、真空配件和系统备件——薄膜设备高效运行的全品类供应。全国可发货，上海仓库现货速发。

50+ 可选靶材成分
6 大产品类别
5天 快速发货
产品概览

靶材、基片、真空配件与更多

我们提供薄膜沉积系统和分析仪器高效运转所需的全品类耗材与配件。产品覆盖50+种溅射靶材，多种晶向和尺寸的精密切割晶圆和专业基片，蒸发舟和坩埚，真空密封件和连接法兰，工艺监测传感器，以及各品牌兼容替换件。所有产品上海仓库发货，常规品5个工作日内出库，全国可发货。

耗材与配件
全国可发货 上海仓库，常规品5个工作日内发出。支持定制规格与尺寸，欢迎来电咨询。
靶材

溅射靶材

高纯金属、合金、氧化物和化合物靶材，用于磁控溅射、离子束和蒸发工艺

纯金属靶材

纯金属靶材

Al、Ti、Cu、Cr、W、Mo、Ni、Co、Fe、Zr、Ta、Nb — 99.99%–99.999%，1"–8"直径

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合金靶材

合金靶材

NiCr、TiAl、CoCrMo、FeCo、AlCu及定制二元/三元成分，2"–6"直径

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氧化物靶材

氧化物靶材

ITO、SiO₂、Al₂O₃、TiO₂、ZnO、HfO₂、MgO — 陶瓷致密型，密度>95%理论值

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氮化物与碳化物靶材

氮化物与碳化物靶材

TiN、AlN、Si₃N₄、SiC、WC、TiC — 热压成型，高密度陶瓷

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贵金属靶材

贵金属靶材

Au、Pt、Ag、Pd、Ru、Ir — 99.99%–99.9999%纯度，0.5"–4"直径，支持回收

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旋转靶材

旋转靶材

圆柱旋转式，直径50–150 mm × 长度50–300 mm，可选所有成分

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粘结靶材组件

粘结靶材组件

铟焊或钎焊粘结至Cu/Mo背板，即装即用

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定制成分

定制成分

非标合金、掺杂陶瓷、多层靶材——联系我们评估可行性

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基片

基片与晶圆

精密切割的硅晶圆、玻璃、蓝宝石和特种晶体基片，用于薄膜研究和器件制备

硅晶圆

硅晶圆

P型/N型，2"–12"，(100)/(111)晶向，单面/双面抛光，0.3–1.0 mm厚

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石英基片

石英基片

熔融石英与晶体石英，UV级，10×10 mm – 6"晶圆，光学抛光

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玻璃基底

玻璃基底

硼硅酸盐（Schott）、钠钙、Corning Eagle XG — 0.5–5 mm，可定切

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蓝宝石晶圆

蓝宝石晶圆

单晶Al₂O₃，C/A/M轴，2"–4"，外延级抛光，200 nm – 5 μm透光

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ITO导电玻璃

ITO导电玻璃

方阻10–100 Ω/□，可见光透过率>85%，3×3" – 6×6"标准尺寸

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特种晶体

特种晶体

GaAs、InP、SrTiO₃、MgO、CaF₂、LiNbO₃ — 1"–4"，半绝缘或定制掺杂

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蒸发

蒸发材料

坩埚、蒸发舟、丝材和颗粒，用于热蒸发和电子束蒸发系统

蒸发颗粒

蒸发颗粒与碎片

Au、Ag、Al、Cr、Ti、SiO₂、MgF₂ — 1–6 mm颗粒，纯度99.99%+

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钨舟与坩埚

钨舟与坩埚

钨和钼蒸发舟，容量5–50 ml，凹底和平底型，最高2000°C+

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钨丝与钼丝

钨丝与钼丝

99.95%纯度，直径0.005"–0.060"，线圈和灯丝形式，用于热源

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电子束坩埚

电子束坩埚与衬套

石墨、铜和陶瓷口袋衬套，4cc–40cc，适配标准电子枪炉膛

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蒸发源配件

蒸发源配件

挡板叶片、烟囱套环、源夹具、加热线圈——OEM兼容备件

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真空

真空密封与连接

O型圈、法兰、阀门、波纹管和馈通，用于真空系统装配和维护

O型圈套件

O型圈套件

氟橡胶（FKM）、EPDM、全氟醚（FFKM）、铜垫圈——AS568标准尺寸

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KF快装法兰

KF快装法兰

KF-10至KF-50，中心环、夹紧器、直通管、三通——304/316不锈钢

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CF金属密封法兰

CF金属密封法兰

CF-16至CF-200，刀口法兰、铜垫圈，超高真空<10⁻¹² mbar·l/s

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真空阀门

真空阀门

闸阀、角阀、蝶阀、针阀——手动和气动，KF/CF接口可选

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波纹管与软管

波纹管与软管

不锈钢波纹管，内径1/2"–4"，KF/CF端口，可定制长度

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真空馈通

真空馈通

电气馈通（多芯、同轴、高压）、旋转、液体——CF和KF接口

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传感

监测与传感器

工艺监测晶体、真空规和流量控制组件，用于沉积系统精确控制

QCM石英晶体

QCM石英晶体

5–6 MHz石英晶体，金/银电极，前装和螺纹安装方式

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真空规管

真空规管

皮拉尼、冷阴极、离子规管、电容规传感器——兼容主流品牌

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RGA灯丝与配件

RGA灯丝与配件

残余气体分析仪替换灯丝、法拉第杯和电子倍增器

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流量控制器组件

流量控制器组件

质量流量控制器维修包、替换阀门、密封件和校准气体适配器

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备件

维护与备件

加热元件、防护罩、泵组件包和维修件，最大程度减少停机时间

加热元件

加热元件

基片加热器、灯管阵列、筒式加热器——可定制功率，100–1200°C范围

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防护罩与衬板

防护罩与衬板

不锈钢和铝沉积防护罩、烟囱衬套、挡板——按系统定制尺寸

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气路组件

气路组件

减压阀、气体纯化器、管路、VCR接头、歧管块——工艺气体配套

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泵维修套件

泵维修套件

分子泵轴承套件、机械泵叶片套件、润滑油和滤芯——兼容主流品牌

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系统维护套件

系统维护套件

年度/两年维护一站式套包，含密封、垫圈、耗材和工具

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