显微镜与计量系统
原子力显微镜、扫描电子显微镜、透射电子显微镜、光学显微镜及精密计量设备——从亚埃级表面成像到晶圆级质量控制。
原子力显微镜：
原子尺度的表面观测
原子力显微镜（AFM）是一种扫描探针技术，通过测量尖锐探针与样品之间的相互作用力来获取亚纳米分辨率的表面图像。与光学显微镜或电子显微镜不同，AFM无需真空环境、无需导电镀膜、无需特殊样品制备——在室温大气条件下即可工作于几乎任何表面。
现代AFM的能力远不止形貌成像。通过专业化测量模式——开尔文探针力显微镜（KPFM）、磁力显微镜（MFM）、压电响应力显微镜（PFM）、导电AFM（C-AFM）——单台仪器即可同步测绘纳米尺度的电位分布、磁畴结构、压电响应和电流流动。这种多模态能力使AFM成为半导体工艺开发、薄膜表征、电池电极研究和生物材料工程不可或缺的工具。
致真精密仪器 · 原子力显微镜
作为致真精密仪器的授权代理商，我们提供两款前沿AFM平台——专为科研院所、高校实验室和半导体制造打造。
AtomEdge Pro vs. Atom Max
根据您的应用选择合适的AFM平台——科研级灵活性 或 产线级高通量。
| 特性 | AtomEdge Pro | Atom Max |
|---|---|---|
| 主要用途 | 科研与多模态分析 | 晶圆级QC与生产计量 |
| 样品类型 | 小样品（最大40 mm） | 8英寸晶圆（200 mm） |
| Z轴噪声基底 | <0.04 nm | 0.05 nm |
| 扫描范围 | 50 μm × 50 μm × 7 μm | 100 μm × 100 μm × 10 μm |
| XY平台行程 | 手动或电动（±25 mm） | ±100 mm（全自动） |
| 反馈带宽 | 最高100 KHz | 最高100 KHz |
| 测量模式 | 7+（MFM、EFM、KPFM、PFM、C-AFM等） | 7+（同样模式，晶圆优化） |
| 自动化程度 | 半自动（探针进近、激光对准） | 全自动（晶圆配方驱动） |
| 洁净室兼容 | 可选封闭罩 | 是（ISO 5 / Class 100） |
| AI分析 | Truth-Seeker AI 内置 | Truth-Seeker AI 内置 |
| 最佳适用 | 高校、国家实验室、研发中心 | 半导体工厂、QC部门 |
哪款AFM平台更适合您？
根据您的核心应用、样品类型和通量需求来选择。两款平台共享相同的核心技术——区别在于扫描范围、自动化程度和目标使用环境。
选择 AtomEdge Pro，如果您...
- 样品尺寸小于40 mm × 40 mm（芯片、薄膜、晶体等）
- 需要最大测量灵活性——7+种模式，含MFM、PFM、KPFM、C-AFM
- 研究涉及多个学科（表面科学、磁学、铁电、生物等）
- 追求最低噪声本底（<50 fm/√Hz），实现原子级分辨率成像
- 需要在手套箱或受控环境中使用
选择 Atom Max，如果您...
- 需要检测最大8英寸（200 mm）直径的晶圆
- 需要在大面积样品上进行自动化多点测量
- 核心应用为半导体工艺控制（粗糙度、CMP、沟槽深度等）
- 洁净室兼容性和密封操作是刚性需求
- 需要基于配方的自动化工作流程，用于生产环境
不确定哪款平台更适合？我们的应用专家可以评估您的样品类型和测量需求，推荐最优配置方案。联系我们获取免费咨询。
谁在使用我们的显微镜方案
从学术科研到半导体生产——我们的仪器服务于广泛的机构和行业。
半导体制造
晶圆厂依赖AFM进行工艺控制——测量表面粗糙度、沟槽深度、膜厚均匀性和缺陷检测，要求产线级通量。Atom Max的自动化工作流程和洁净室兼容性使其成为200 mm晶圆产线的首选。
工业方案 →先进显微镜解决方案
扫描电子显微镜（SEM）
高分辨率扫描电子显微镜平台，配备集成的能量分散X射线（EDS）能谱分析和电子反向散射衍射（EBSD）晶体学分析功能。广泛应用于材料科学、半导体质控和工业失效根因分析。
- 分辨率：1-5 nm
- 放大倍数：10倍至100,000倍
- 分析工具：EDS成分映射、EBSD晶体分析
透射电子显微镜（TEM）
高级TEM系统专为原子尺度成像、纳米结构表征和晶体结构分析而设计。配备扫描透射电子显微镜（STEM）和能量损失电子能谱（EELS）功能，用于纳米级精确化学成分映射。
- 超高分辨率：<0.1 nm
- 工作电压范围：80-300 kV
- 分析模式：EELS、三维电子断层、STEM
光学显微镜系统
全面的光学显微镜平台，支持明场、暗场、荧光和偏光成像多种模式。适用于生物样品、薄片制样、质量检测和教育应用。
- 放大倍数：5倍至1000倍
- 光学分辨率：200-500 nm（可见光）
- 成像功能：自动捕获、实时分析、多通道荧光
精密测量工具
表面轮廓仪
精密表面测量系统，用于量化分析粗糙度、表面形貌、台阶高度和涂层厚度。包括接触式和非接触式模式，适应不同材料类型和表面状况。
- Z方向分辨率：<1 nm（纳米级精度）
- 大型扫描范围：最大100毫米×100毫米
- 测量模式：触针式、光学或激光型
原子力显微镜（AFM）
高精度原子力显微镜系统，用于纳米级表面成像、地形制图和力学性能分析。在聚合物研究、纳米技术开发和软性材料表征中具有重要价值。
- XY分辨率：1 nm水平精度
- Z扫描范围：最大15微米垂直扫描
- 力测量灵敏度：<1皮牛（pN）
光谱与分析系统
全面的光谱分析平台，包括X光电子能谱（XPS）、X射线荧光（XRF）和拉曼光谱仪，用于化学成分和氧化态分析。
- 化学检测限：亚ppm灵敏度
- 空间分辨率：~100 nm（局部分析）
- 多技术集成：XPS、XRF、拉曼一体化
已服务100+科研机构与生产线
致真精密仪器AFM系统已被中国顶尖高校、国家重点实验室和头部半导体制造商广泛采用——从基础表面科学研究到产线级晶圆检测。
致真精密仪器：
源自中国的世界级精密仪器
致真精密仪器有限公司成立于2019年，总部位于青岛，是一家以高端科研仪器和集成电路产线测试设备研发与生产为主营业务的国家高新技术企业、国家专精特新"小巨人"企业。
公司拥有150+员工（研发人员占比51%）、70+有效专利，已建成占地5,500平方米的生产研发基地，配备十万级、万级、千级洁净实验室和完善的装调工作站、功能测试区与整机出厂检验线。从压电陶瓷扫描台制造到FPGA固件开发，致真实现了全流程自主研发和生产。
致真精密仪器的使命是让世界级纳米表征技术触手可及。其自研的Truth-Seeker AI引擎、集成式双FPGA控制器架构和全自动化测量流程，代表了AFM仪器的新范式——研究级性能与产线级易用性的完美结合。
全方位售后服务体系
依托Foresee 15年科研仪器代理经验和致真工厂级工程团队的双重保障。
7×24小时极速响应
统一热线报修，2小时内专业工程师对接，线上线下双渠道响应，快速定位设备故障。
明确故障解决时限
轻微故障24小时修复，中度故障48小时解决，复杂故障72小时出专项方案。
核心客户备机保障
设备需长期维修时，提供同性能备用机，确保您的科研进度不被中断。
分层专业培训体系
交付时现场基础培训，定期开展线上/线下进阶课程，可定制行业专属培训。
原厂品质升级服务
免费远程推送软件升级，硬件升级由工程师上门安装并出具升级后性能检测报告。
原厂配件技术承诺
维修和升级均采用原厂配件与技术，确保设备精度与原机一致，保障使用品质。