显微镜与计量
高分辨原子力显微镜与表面计量——从纳米级成像到亚埃级垂直分辨率，覆盖材料科学、半导体和生命科学领域。
3
AFM 系统
7+
测量模式
Sub-Å
亚埃分辨率
产品概览
高分辨率成像与精密测量
原子力显微镜产品线覆盖从紧凑型教学仪器到全自动晶圆级计量平台。亚埃级垂直分辨率、7种以上测量模式、开放式架构，适配材料科学、半导体质控和生命科学多种工作流程。
01 — Atomic Force Microscopy
原子力显微镜
纳米级表面成像与测量——从科研级扫描到自动化工业计量。
02 — Surface Profilometry
表面轮廓仪
接触式与非接触式表面轮廓测量，用于台阶高度、粗糙度及三维形貌检测。
触针式轮廓仪
接触式表面轮廓测量，用于台阶高度和粗糙度检测，纳米级垂直分辨率。
光学轮廓仪
基于白光干涉的非接触式三维表面计量，实现高速面域形貌测量。